該設(shè)備具有四個(gè)可以進(jìn)行微調(diào)的探針臂，每個(gè)探針臂上的探針都可以進(jìn)行三維方向上的精準(zhǔn)定位。

設(shè)備特點(diǎn)：

1，可更換樣品臺(tái)

2，80K-245K寬溫區(qū)

3，溫度穩(wěn)定性50MK

4，探針位移精度10微米

5，三個(gè)DC同軸探針臂

6，一個(gè)微波40G探針

7，探針XY軸行程25MM